真空鍍膜設(shè)備真空泵的較限壓強：真空鍍膜真空泵的較限壓強單位是Pa，真空鍍膜真空泵是指泵在入口處裝有標(biāo)準(zhǔn)試驗罩并按規(guī)定條件工作，真空鍍膜真空泵在不引入氣體正常工作的情況下，趨向穩(wěn)定的較低壓強。
　　
　　真空鍍膜設(shè)備真空泵的抽氣速率：真空鍍膜真空泵的抽氣速率單位是m3/s或l/s，是指泵裝有標(biāo)準(zhǔn)試驗罩，并按規(guī)定條件工作時，真空鍍膜真空泵從試驗罩流過的氣體流量與在試驗罩位置測得的平衡壓強之比。
　　
　　真空鍍膜設(shè)備真空泵的非常大工作壓強：真空鍍膜真空泵的非常大工作壓強單位是Pa，真空鍍膜真空泵是指對應(yīng)非常大抽氣量的入口壓強，在此壓強下，真空鍍膜真空泵能連續(xù)工作而不惡化或損壞。
　　
　　真空鍍膜設(shè)備真空泵的非常大前級壓強：真空鍍膜真空泵口非常大前級壓強單位是Pa，真空鍍膜真空泵是指超過了能使泵損壞的前級壓強。